Detala Resumo deFlugantaj Laseraj Veldaj Kapoj
Ĝi kovras nomojn de komponantoj, difinojn, principojn, dezajnajn parametrojn kaj formulajn kalkulojn, kaj aplikeblas alaltrapida skanada veldado(kiel ekzemple galvanometraj sistemoj) aŭ malproksimaj veldadaj aplikoj.
1. Komponado kaj Difino de Flugantaj Veldaj Laseraj Veldaj Kapoj
Fluganta veldado (Skanada Lasera Veldado) realigas dinamikan fokusadon per altrapidaj galvanometraj reflektantaj laseraj radioj, kaj taŭgas por grand-areaj kajaltrapida veldadoĜiaj kernaj komponantoj estas jenaj:
1. Modulo de Kolimatacio de Radio
Kolimatoro
Funkcio: Konverti la diverĝan laseron (NA=0.1~0.22) eligitan de la optika fibro en paralelan faskon.
Ŝlosilaj parametroj: Fokusa distanco fcoll, kolimatita radiodiametro Dcoll.
Formulo:
1.2 Galvanometra Skanada Sistemo
X/Y-aksaj Galvo-speguloj
Funkcio: Ŝanĝi la direkton de la lumfasko per altrapidaj rotaciantaj speguloj por atingi dudimensian ebenskanadon.
Ŝlosilaj parametroj: Skanadrapideco (kutime ≥10m/s), ripetpoziciiga precizeco (<±5μrad), spegulgrandeco (devas kovri la traban diametron Dcoll).
Galvanometra motoro: Servomotoro aŭ galvanometra motoro kun respondotempo de <1ms.
1.3 Dinamika Fokusa Modulo (F-Teta Lenso aŭ Galvanometro + Platkampa Lenso)
F-Teta lenso
Funkcio: Konverti la deklinan angulon de la galvanometro en linian delokiĝon sur la ebeno por konservi fokusan konsistencon.
Ŝlosilaj formuloj:
2. Funkciprincipo
Radiovojo: Lasero → Kolimatoro → X-galvanometro → Y-galvanometro → F-Teta lenso → Laborpeca surfaco.
Dinamika fokusado:
Kiam la galvanometra deklinangulo estas θ, la fokusa pozicio (x, y) estas konvertita per la F-Teta lenso kiel：
3. Ŝlosilaj Dezajnaj Parametroj kaj Formuloj
3.1 Kalkulo de Punkta Grandeco
Diametro de fokusita punkto d (difrakta limo):
3.2 Skanada Distanco kaj Galvanometra Angulo
Maksimuma skana distanco L:
3.3 Velda Rapido kaj Akcelo
Lineara rapido v
3.4 Profundo de Fokuso (DOF)
3.5 Potencodenseco kaj Energia Enigo
Potencodenseco I:
Energidenseco E (pulsa veldado):
4. Aberacioj kaj Optimuma Dezajno
4.1 F-Teta Lensa Aberacia Korekto
Distordo: Ĝi devas kontentigi r∝θ, kaj la nelineara distordo devas esti <0.1%.
Kampa kurbeco: Dezajnu platan kampon per plurlensaj grupoj.
4.2 Galvanometra Sinkroniga Eraro
La prokrasto de la X/Y galvanometro devus esti <1 μs por eviti elipsajn makulojn.
5. Ekzemplo de Dezajna Procezo
Enigaj postuloj: Skanada distanco L, punktograndeco d, veldrapido v. Elektu F-Tetolenson: Difinu fθ laŭ L=2fθtan(θmax).
Kalkulu la parametrojn de la galvanometro: angula rapido ω=v/fθ, kaj kontrolu la funkciadon de la galvanometro.
Kontrolu la kvaliton de la punkto: Optimigu la aberaciojn de lensgrupoj per Zemax/OpticStudio.
6. Antaŭzorgoj
Termika administrado: Galvanometroj kaj lensoj bezonas akvan malvarmigon sub alta potenco (kiel ekzemple >1kW).
Kontraŭkoliziaj protektoj: Galvanometroj bezonas krizbremsadon por eviti mekanikan kolizion.
Kalibrado: Regule kalibru la koaksialecon de la optika vojo (devio <0,05 mm).
Afiŝtempo: 04-08-2025
